(19)
(11) EP 0 938 251 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.04.2002  Patentblatt  2002/16

(43) Veröffentlichungstag A2:
25.08.1999  Patentblatt  1999/34

(21) Anmeldenummer: 99102070.2

(22) Anmeldetag:  02.02.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H05H 3/02
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 18.02.1998 DE 19806692

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • Tschersich, Karl G., Dr.
    52428 Jülich (DE)
  • Fleischhauer, Johannes
    52525 Heinsberg (DE)

(74) Vertreter: Paul, Dieter-Alfred, Dipl.-Ing. et al
Paul & Albrecht Patentanwaltssozietät Hellersbergstrasse 18
41460 Neuss
41460 Neuss (DE)

   


(54) Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen


(57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen durch thermische Dissoziation eines Gases, mit einem Rohr (1), das an seinem einen Ende an eine Gasquelle (2) anschließbar ist und an seinem anderen Ende eine Gasaustrittsöffnung (3) aufweist, und einer Heizvorrichtung (4), um das Rohr (1) zu erwärmen, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß die Heizvorrichtung (4) wenigstens einen Heizdraht (5) zur Erwärmung des Rohrs (1) durch Wärmestrahlung aufweist und der Heizdraht (5) das Rohr (1) im Bereich der Gasaustrittsöffnung (3) unter Herstellung eines elektrischen Kontakts berührt, im übrigen aber mit Abstand umgibt.






Recherchenbericht