(19)

(11)

EP 0 938 751 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.09.1999  Patentblatt  1999/35 (21) Anmeldenummer: 97910296.0 (22) Anmeldetag:  17.09.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 337( . ) H01L 29/ 24( . ) H01L 29/ 808( . ) H01L 21/ 338( . ) H01L 29/ 739( . ) H01L 29/ 812( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/005080 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/019342 (07.05.1998 Gazette  1998/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH FR GB IT LI NL (30) Priorität: 29.10.1996 DE 19961044821 (71) Anmelder: DaimlerChrysler AG 70567 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: KAMINSKI, Nando D-64546 Mörfelden-Walldorf (DE) NEUBRAND, Horst D-60598 Frankfurt (DE) (74) Vertreter: Maute, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing., et al  Daimler-Benz AG, Intellectual Property Management, Postfach 35 35 74025 Heilbronn 74025 Heilbronn (DE)