(19)

(11)

EP 0 943 155 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.09.1999  Patentblatt  1999/38 (21) Anmeldenummer: 98948810.0 (22) Anmeldetag:  19.08.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 302( . ) H01L 21/ 3065( . ) B81C 1/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1998/002406 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1999/010922 (04.03.1999 Gazette  1999/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB NL (30) Priorität: 21.08.1997 DE 19971036370 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: LÄRMER, Franz D-70437 Stuttgart (DE) SCHILP, Andrea D-73525 Schwäbisch Gmünd (DE)