(19)
(11) EP 0 943 156 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.09.1999  Patentblatt  1999/38

(21) Anmeldenummer: 98951194.0

(22) Anmeldetag:  24.08.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02F 1/ 136( . )
H01L 21/ 336( . )
H01L 21/ 84( . )
 G02F 1/ 1368( . )
H01L 21/ 77( . )
H01L 29/ 786( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1998/002463
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1999/018608 (15.04.1999 Gazette  1999/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR IT

(30) Priorität: 06.10.1997 DE 19971044098

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHURIG, Dieter
    D-63510 Wallrabenstein (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MATRIX AUS DÜNNSCHICHTTRANSISTOREN, INSBESONDERE MIT a:Si-H ALS HALBLEITER, FÜR FLÜSSIGKRISTALLBILDSCHIRME