(19)

(11)

EP 0 946 779 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.10.1999  Patentblatt  1999/40 (21) Anmeldenummer: 97944871.0 (22) Anmeldetag:  11.09.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/ 04( . ) H01J 37/ 34( . ) C23C 16/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/004968 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/011270 (19.03.1998 Gazette  1998/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE ES GB (30) Priorität: 13.09.1996 DE 19961037271 18.12.1996 DE 19961052633 (71) Anmelder: Euromat GmbH 41836 Hückelhoven (DE)	(72) Erfinder: RASS, Ino, Jakob D-52062 Aachen (DE) LUGSCHEIDER, Erich D-52074 Aachen (DE) LÖFFLER, Frank D-38176 Wendeburg-Bortfeld (DE) ESSER, Stefan D-52146 Würselen (DE) FELDHEGE, Martin D-52072 Aachen (DE) (74) Vertreter: Hiebsch, Gerhard F., Dipl.-Ing., et al  Hiebsch Peege Behrmann, Patentanwälte, Heinrich-Weber-Platz 1 78224 Singen 78224 Singen (DE)