VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PRÄZISEN ELEKTROLYTISCHEN ABSCHEIDEN UND ÄTZEN VON METALLSCHICHTEN AUF LEITERPLATTEN UND -FOLIEN IN DURCHLAUFANLAGEN - Patent 0946794

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EP 0 946 794 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	06.10.1999 Patentblatt 1999/40

(21)	Anmeldenummer: 97953640.0

(22)	Anmeldetag: 10.12.1997

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

C25D 17/ 06^{( . )}
C25D 21/ 12^{( . )}
H05K 3/ 24^{( . )}

C25D 17/ 28^{( . )}
C25F 7/ 00^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE1997/002945

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1998/028468 (02.07.1998 Gazette 1998/26)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH DE DK ES FI FR GB IE IT LI NL PT SE

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Priorität:

20.12.1996 DE 19961053272

(71)	Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH
	10553 Berlin (DE)

(72)	Erfinder:
	DENIS, Jacques D-14199 Berlin (DE)

(74)	Vertreter: Effert, Bressel und Kollegen
	Radickestrasse 48 12489 Berlin 12489 Berlin (DE)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PRÄZISEN ELEKTROLYTISCHEN ABSCHEIDEN UND ÄTZEN VON METALLSCHICHTEN AUF LEITERPLATTEN UND -FOLIEN IN DURCHLAUFANLAGEN