(19)
(11) EP 0 947 003 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.10.1999  Patentblatt  1999/40

(21) Anmeldenummer: 97945790.0

(22) Anmeldetag:  26.10.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/ 09( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1997/002482
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/019347 (07.05.1998 Gazette  1998/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH FR GB IT LI

(30) Priorität: 26.10.1996 DE 19961044550

(71) Anmelder: Zrenner, Artur
80809 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Zrenner, Artur
    80809 München (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHER ODER ELEKTROSTRIKTIVER TRÄGHEITSANTRIEB ZUM VERSCHIEBEN ODER POSITIONIEREN VON INSBESONDERE SCHWEREN OBJEKTEN