(19)

(11)

EP 0 948 738 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.10.1999  Patentblatt  1999/41 (21) Anmeldenummer: 97949905.0 (22) Anmeldetag:  10.11.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01L 3/ 00( . ) G01L 3/ 10( . ) G01B 21/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/002627 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/027410 (25.06.1998 Gazette  1998/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE ES FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 17.12.1996 DE 19961052550 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: DOEMENS, Günter D-83607 Holzkirchen (DE) GILCH, Markus D-85419 Mauern (DE)