(19)

(11)

EP 0 948 804 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.10.1999  Patentblatt  1999/41 (21) Anmeldenummer: 97911167.0 (22) Anmeldetag:  01.10.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 673( . ) H01L 21/ 304( . ) H01L 21/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/005409 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/024114 (04.06.1998 Gazette  1998/22)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE DE FR GB IT NL (30) Priorität: 22.11.1996 DE 19961048498 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: OSHINOWO, John D-78073 Bad Dürrheim (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing., et al  WAGNER & GEYER Patentanwälte Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)