(19)
(11) EP 0 951 640 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.10.1999  Patentblatt  1999/43

(21) Anmeldenummer: 97951108.0

(22) Anmeldetag:  05.12.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/ 04( . )
G01L 9/ 00( . )
H01L 23/ 02( . )
 B81B 7/ 00( . )
G01L 19/ 14( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1997/002845
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/030878 (16.07.1998 Gazette  1998/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 08.01.1997 DE 19971000393

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • JANCZEK, Thies
    D-93055 Regensburg (DE)
  • STADLER, Bernd
    D-93093 Donaustauf (DE)
  • HOUDEAU, Detlef
    D-84085 Langquaid (DE)

(74) Vertreter: MÜLLER & HOFFMANN Patentanwälte 
Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) GEHÄUSE FÜR HALBLEITER-SENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG