(19)

(11)

EP 0 951 692 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.10.1999  Patentblatt  1999/43 (21) Anmeldenummer: 98956777.0 (22) Anmeldetag:  17.09.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G06K 19/ 077( . ) H01L 23/ 498( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1998/002768 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1999/019832 (22.04.1999 Gazette  1999/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE ES FR GB IT LI (30) Priorität: 15.10.1997 DE 19971045648 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: PÜSCHNER, Frank D-93309 Kelheim (DE) FISCHER, Jürgen D-93180 Deuerling (DE) HEITZER, Josef D-93090 Bach (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)