(19)

(11)

EP 0 953 208 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.11.1999  Patentblatt  1999/44 (21) Anmeldenummer: 97953665.0 (22) Anmeldetag:  20.12.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/ 373( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/003004 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/032171 (23.07.1998 Gazette  1998/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE CH DE FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 18.01.1997 DE 19971001680 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: KOIDL, Peter D-79211 Denzlingen (DE) WILD, Christof D-79211 Denzlingen (DE) WÖRNER, Eckhard D-79100 Freiburg (DE) (74) Vertreter: RACKETTE Partnerschaft Patentanwälte  Postfach 13 10 79013 Freiburg 79013 Freiburg (DE)