(19)

(11)

EP 0 954 619 A1

(12)

(43) Date de publication: 10.11.1999  Bulletin  1999/45 (21) Numéro de dépôt: 97947127.0 (22) Date de dépôt:  24.11.1997

(51) Int. Cl.:  C23C 4/ 12( . ) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR1997/002117 (87) Numéro de publication internationale: WO 1998/026104 (18.06.1998 Gazette  1998/24)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI NL PT SE (30) Priorité: 09.12.1996 FR 19960015092 (71) Demandeur: INSTITUT POLYTECHNIQUE DE SEVENANS 90010 Belfort Cedex (FR)	(72) Inventeurs: CODDET, Christian F-90200 Giromagny (FR) LIAO, Han, Lin F-90300 Cravanche (FR) HANSZ, Bernard F-25600 Nommay (FR) (74) Mandataire: Levy, David, et al  c/o S.A. FEDIT-LORIOT & AUTRES CONSEILS EN PROPRIETE INDUSTRIELLE 38, Avenue Hoche 75008 Paris 75008 Paris (FR)