(19)
(11) EP 0 954 882 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.11.1999  Patentblatt  1999/45

(21) Anmeldenummer: 97953631.0

(22) Anmeldetag:  16.12.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C30B 29/ 22( . )
H01L 39/ 24( . )
H01L 39/ 16( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1997/002925
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/027599 (25.06.1998 Gazette  1998/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 18.12.1996 DE 19961965280
14.11.1997 DE 19971975059

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • NEUMÜLLER, Heinz-Werner
    D-91080 Uttenreuth (DE)
  • SCHMIDT, Wolfgang
    D-91056 Erlangen (DE)
  • HEINEMANN, Klaus
    D-37127 Niemetal (DE)
  • WIESMANN, Jörg
    D-37081 Göttingen (DE)
  • HOFFMANN, Jörg
    D-37081 Göttingen (DE)
  • DZICK, Jürgen
    D-37075 Göttingen (DE)
  • FREYHARDT, Herbert-Carl
    D-37085 Göttingen (DE)

   


(54) ERZEUGNIS MIT EINEM SUBSTRAT AUS EINEM TEILSTABILISIERTEN ZIRKONOXID UND EINER PUFFERSCHICHT AUS EINEM VOLLSTABILISIERTEN ZIRKONOXID SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG