(19)

(11)

EP 0 956 449 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.11.1999  Patentblatt  1999/46 (21) Anmeldenummer: 97951842.0 (22) Anmeldetag:  11.12.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B81B 3/ 00( . ) F04B 53/ 08( . ) F04B 43/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/002874 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/026179 (18.06.1998 Gazette  1998/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE DK FI FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 11.12.1996 DE 19961051568 (71) Anmelder: Gesim Gesellschaft fur Silizium-Mikrosysteme mbH 01474 Rossendorf (DE)	(72) Erfinder: HOWITZ, Steffen D-01309 Dresden (DE) Bürger, Mario D-01796 Pirna (DE) WEGENER, Thomas D-16816 Neuruppin (DE) GEHRING, Thomas D-02730 Ebersbach (DE) (74) Vertreter: Hudler, Frank, Dipl.-Ing., et al  Patentanwälte Lippert, Stachow, Schmidt & Partner P.O. Box 19 24 38 01282 Dresden 01282 Dresden (DE)