(19)

(11)

EP 0 956 583 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.11.1999  Patentblatt  1999/46 (21) Anmeldenummer: 97915452.0 (22) Anmeldetag:  27.03.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 304( . ) B08B 3/ 12( . ) H01L 21/ 306( . ) B08B 3/ 10( . ) H01L 21/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/001576 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/045860 (04.12.1997 Gazette  1997/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 29.05.1996 DE 19961021587 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: OSHINOWO, John D-78054 Schwenningen (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing., et al  WAGNER & GEYER Patentanwälte Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)