(19)

(11)

EP 0 956 587 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.11.1999  Patentblatt  1999/46 (21) Anmeldenummer: 97907016.0 (22) Anmeldetag:  17.01.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F28F 3/ 02( . ) H01L 23/ 367( . ) H01L 21/ 48( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/000130 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/027619 (31.07.1997 Gazette  1997/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE DK ES FI FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 27.01.1996 DE 19961002943 11.05.1996 DE 19961019207 (71) Anmelder: Diels, Manfred 58540 Meinerzhagen (DE)	(72) Erfinder: DIELS, Manfred D-58540 Meinerzhagen (DE) BAYER, Joachim D-51503 Rösrath (DE) (74) Vertreter: Schröter & Haverkamp  Patentanwälte Im Tückwinkel 22 58636 Iserlohn 58636 Iserlohn (DE)