(19)
(11) EP 0 961 921 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.12.1999  Patentblatt  1999/49

(21) Anmeldenummer: 98963367.0

(22) Anmeldetag:  23.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01F 1/ 68( . )
G01K 7/ 02( . )
H01L 35/ 34( . )
 G01F 1/ 684( . )
G01K 7/ 16( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1998/003444
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1999/027325 (03.06.1999 Gazette  1999/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE ES FR GB IT LI SE

(30) Priorität: 25.11.1997 DE 19971052208

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HEYERS, Klaus
    D-72766 Reutlingen (DE)
  • FREY, Wilhelm
    D-70178 Stuttgart (DE)

   


(54) THERMISCHER MEMBRANSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG