Verfahren und Einrichtung zum Erzeugen von Plasma

(19)

(11)

EP 0 963 140 A3

(12)	EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88)	Veröffentlichungstag A3:
	15.05.2002 Patentblatt 2002/20

(43)	Veröffentlichungstag A2:
	08.12.1999 Patentblatt 1999/49

(21)	Anmeldenummer: 99890141.7

(22)	Anmeldetag: 30.04.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H05H 1/36

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

(30)

Priorität:

04.05.1998 AT 28598 U

(71)	Anmelder: Inocon Technologie Gesellschaft m.b.H
	4800 Attnang-Puchheim (AT)

(72)	Erfinder:
	Schwankhart, Gerhard, Dipl.-Ing. 4800 Attnang-Puchheim (AT)

(74)	Vertreter: Kliment, Peter
	Patentanwalt Dipl.-Ing. Mag.jur. Peter Kliment Singerstrasse 8/3/8 1010 Vienna 1010 Vienna (AT)

(54)	Verfahren und Einrichtung zum Erzeugen von Plasma

(57) Verfahren zur Erzeugung von Plasma mit schwankender Leistung, bei dem ein Lichtbogen zwischen einer Anode und einer Kathode gezündet und mit diesem Dämpfe oder Gase ionisiert werden. Um Plasma für eine Vielzahl von Anwendungsfällen einsetzen zu können, ist vorgesehen, daß der Lichtbogen mit Spannungsimpulsen betrieben wird, wobei in den Pausen zwischen diesen Spannungsimpulsen die an der Strecke Anode-Kathode anliegende Spannung unter die Brennspannung des Lichtbogens abgesenkt wird, sodaß der Lichtbogen in diesen Pausen erlischt.

Recherchenbericht