(19)
(11) EP 0 963 544 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.12.1999  Patentblatt  1999/50

(21) Anmeldenummer: 98910626.0

(22) Anmeldetag:  12.02.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/ 04( . )
 G01L 9/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1998/000409
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/038483 (03.09.1998 Gazette  1998/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 25.02.1997 DE 19971007503

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WINTERER, Jürgen
    D-90451 Nürnberg (DE)
  • BOOTZ, Eric
    D-93309 Kelheim (DE)
  • STADLER, Bernd
    D-93093 Donaustauf (DE)
  • NEU, Achim
    D-93047 Regensburg (DE)
  • JANCZEK, Thies
    D-93055 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Zimmermann & Partner 
Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) DRUCKSENSOR-BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG