(19)

(11)

EP 0 963 601 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.12.1999  Patentblatt  1999/50 (21) Anmeldenummer: 98905245.0 (22) Anmeldetag:  12.01.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/ 04( . ) H01L 21/ 822( . ) H01L 29/ 94( . ) H01L 21/ 334( . ) H01L 21/ 8242( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1998/000089 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/032166 (23.07.1998 Gazette  1998/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE DK ES FI FR GB IE IT LI NL SE (30) Priorität: 21.01.1997 DE 19971001935 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)

(72) Erfinder: WENDT, Hermann D-85630 Grasbrunn (DE) REISINGER, Hans D-82031 Grünwald (DE) SPITZER, Andreas D-81739 München (DE) STENGL, Reinhard D-86391 Stadtbergen (DE) GRÜNING, Ulrike Wappingers Falls, NY 12590 (US) WILLER, Josef D-85521 Riemerling (DE) HÖNLEIN, Wolfgang D-82008 Unterhaching (DE) LEHMANN, Volker D-80689 München (DE) (74) Vertreter: Epping, Wilhelm, Dipl.-Ing., et al  Epping Hermann & Fischer Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)