(19)
(11) EP 0 964 941 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.12.1999  Patentblatt  1999/51

(21) Anmeldenummer: 98912420.0

(22) Anmeldetag:  27.02.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 1/ 00( . )
C25D 1/ 10( . )
C25D 1/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1998/001135
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/039501 (11.09.1998 Gazette  1998/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 06.03.1997 DE 19971009137

(71) Anmelder: INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GmbH
55129 Mainz-Hechtsheim (DE)

(72) Erfinder:
  • EHRFELD, Wolfgang
    D-55124 Mainz (DE)
  • LEHR, Heinz
    D-10783 Berlin (DE)
  • WEBER, Lutz
    D-55288 Gabsheim (DE)

(74) Vertreter: Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche 
Patentanwälte Abraham-Lincoln-Strasse 7
65189 Wiesbaden
65189 Wiesbaden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND MAGAZINIERUNG MINDESTENS EINES METALLISCHEN MIKROBAUTEILS