(19)
(11) EP 0 964 999 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.12.1999  Patentblatt  1999/51

(21) Anmeldenummer: 98907961.0

(22) Anmeldetag:  20.01.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 25/ 00( . )
F04C 28/ 28( . )
 F04B 37/ 14( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1998/000288
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/039570 (11.09.1998 Gazette  1998/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 06.03.1997 DE 19971009206

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BURGHARD, Hans, Josef
    D-50937 Köln (DE)
  • GIEBMANNS, Wolfgang
    D-61389 Schmitten (DE)
  • BAHNEN, Rudolf
    D-52159 Roetgen (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) VAKUUMPUMPE