(19)
(11) EP 0 966 764 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.12.1999  Patentblatt  1999/52

(21) Anmeldenummer: 98966210.0

(22) Anmeldetag:  15.12.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 336( . )
H01L 29/ 78( . )
H01L 29/ 40( . )
 H01L 29/ 417( . )
H01L 21/ 18( . )
H01L 29/ 423( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1998/003683
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1999/036964 (22.07.1999 Gazette  1999/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 15.01.1998 DE 19981001313

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • TIHANYI, Jenö
    D-85551 Kirchheim (DE)
  • WERNER, Wolfgang
    D-81545 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) FET MIT SOURCE-SUBSTRATANSCHLUSS