(19)
(11) EP 0 966 765 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.12.1999  Patentblatt  1999/52

(21) Anmeldenummer: 98906951.0

(22) Anmeldetag:  13.02.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02F 1/ 1333( . )
H01L 23/ 31( . )
H01L 31/ 04( . )
 H01L 23/ 29( . )
H01L 31/ 02( . )
H01L 31/ 048( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1998/000832
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/038683 (03.09.1998 Gazette  1998/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FI FR GB IT NL

(30) Priorität: 24.02.1997 DE 19971007280

(71) Anmelder:
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    80333 München (DE)
  • Siemens Solar GmbH
    80807 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PROBST, Volker
    D-81547 München (DE)
  • RIMMASCH, Jörk
    D-01099 Dresden (DE)
  • STETTER, Walter
    D-89257 Illertissen (DE)
  • CALWER, Hermann
    D-80634 München (DE)

(74) Vertreter: HOFFMANN - EITLE 
Patent- und Rechtsanwälte Arabellastrasse 4
81925 München
81925 München (DE)

   


(54) KLIMA- UND KORROSIONSSTABILER SCHICHTAUFBAU