(19)

(11)

EP 0 968 519 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 17.12.1998 (43) Veröffentlichungstag: 05.01.2000  Patentblatt  2000/01 (21) Anmeldenummer: 98925415.6 (22) Anmeldetag:  20.03.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 47/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9800/818 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9843/116 (01.10.1998 Gazette  1998/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FI FR GB IT SE (30) Priorität: 21.03.1997 DE 19712032 23.07.1997 DE 19731608 (71) Anmelder: Vacutec Messtechnik GmbH 01277 Dresden (DE)	(72) Erfinder: LAUBE, Siegfried D-01277 Dresden (DE) URBAN, Franz-Josef D-01809 Heidenau (DE) HILDEBRANDT, Steffen D-01219 Dresden (DE) (74) Vertreter: Pfeiffer, Eva  Brucknerstrasse 9 B 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)