(19)

(11)

EP 0 968 534 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.01.2000  Patentblatt  2000/01 (21) Anmeldenummer: 98966495.8 (22) Anmeldetag:  25.11.1998

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/786, H01L 29/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9803/468 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9931/734 (24.06.1999 Gazette  1999/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT DE FR GB IE IT (30) Priorität: 16.12.1997 DE 19755868 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE)