(57) Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät, insbesondere ein Elektronenstrahlgerät
wie ein Rasterelektronenmikroskop. Gemäß der vorliegenden Erfindung sind im Strahlführungsrohr
zwischen dem Strahlerzeuger (1) und dem Objektiv (5, 6) zwei ringförmige Detektoren
(11, 12, 13, 15, 16) in deutlichem Abstand entlang der optischen Achse angeordnet.
Der Abstand zwischen beiden Detektoren beträgt dabei mindestens 25 %, vorzugsweise
sogar 50-75 % des Abstandes zwischen dem probenseitigen Detektor (11, 12) und der
Probe (10). Der quellenseitige Detektor (13) dient zum Nachweis derjenigen zurückgestreuten
oder Sekundärelektronen, die durch die für den Durchtritt des Primärteilchenstrahls
vorgesehene Bohrung durch den probenseitigen Detektor (11, 12) transmittieren.
Der quellenseitige Detektor (13, 15, 16) ist vorzugsweise als Konversionsblende (13)
mit seitlich dazu angeordnetem Szintillationsdetektor ausgebildet. Die Konversionsblende
(13) erzeugt bei Auftreffen geladener Teilchen selbst Sekundärelektronen.
Durch die Verwendung zweier in Richtung der optischen Achse versetzter Detektoren
wird die Ausbeute der für die Bilderzeugung ausgenutzten Sekundärelektronen erhöht.
Außerdem ist eine Separierung der Sekundärelektronen nach ihrem Austrittswinkel aus
der Probe (10) möglich.
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