(19)
(11) EP 0 970 524 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.12.1998

(43) Veröffentlichungstag:
12.01.2000  Patentblatt  2000/02

(21) Anmeldenummer: 98923998.3

(22) Anmeldetag:  12.03.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/04, H01L 29/24, H01L 21/04, H01L 29/10, H01L 29/739, H01L 29/78
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9800/738
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9843/299 (01.10.1998 Gazette  1998/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR IT

(30) Priorität: 25.03.1997 DE 19712561

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PETERS, Dethard
    D-91315 Höchstadt (DE)
  • SCHÖRNER, Reinhold
    D-91091 Gro enseebach (DE)
  • STEPHANI, Dietrich
    D-91088 Bubenreuth (DE)

   


(54) SiC-HALBLEITERANORDNUNG MIT HOHER KANALBEWEGLICHKEIT