(19)

(11)

EP 0 976 157 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 25.11.1999 (43) Veröffentlichungstag: 02.02.2000  Patentblatt  2000/05 (21) Anmeldenummer: 97943875.1 (22) Anmeldetag:  20.09.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9705/165 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9812/749 (26.03.1998 Gazette  1998/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 21.09.1996 DE 19638769 (71) Anmelder: Vishay Semiconductor GmbH 74072 Heilbronn (DE)	(72) Erfinder: XU, Shuming Singapore 03-06 (SG) CONSTAPEL, Rainer D-65933 Frankfurt am Main (DE) KOREC, Jacek San Jose, CA 95120 (US) (74) Vertreter: Maute, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing.  DaimlerChrysler AG,FTP/H,Postfach 35 35 74025 Heilbronn 74025 Heilbronn (DE)