(19)
(11) EP 0 976 164 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.02.2000  Patentblatt  2000/05

(21) Anmeldenummer: 99911599.1

(22) Anmeldetag:  13.02.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 41/04, H01L 41/09
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9900/411
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9941/791 (19.08.1999 Gazette  1999/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH FR GB IT LI

(30) Priorität: 14.02.1998 DE 19806127

(71) Anmelder:
  • Zrenner, Artur
    80809 München (DE)
  • Sizmann, Richard
    81825 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ZRENNER, Artur
    D-80809 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ELEKTRISCHEN ANSTEUERUNG VON PIEZOELEKTRISCHEN ODER ELEKTROSTRIKTIVEN AKTUATOREN IN ANTRIEBEN FÜR EINE SCHRITTWEISE BEWEGUNG