(19)
(11) EP 0 977 909 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.02.2000  Patentblatt  2000/06

(21) Anmeldenummer: 98916815.8

(22) Anmeldetag:  27.02.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 24/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9800/594
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9848/077 (29.10.1998 Gazette  1998/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR GB IT LI SE

(30) Priorität: 21.04.1997 DE 19716595

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • BUCHKREMER, Hans, Peter
    D-52525 Heinsberg (DE)
  • STÖVER, Detlev
    D-52382 Niederzier (DE)
  • SCHIRBACH, Arno
    D-52249 Eschweiler (DE)
  • SCHLIEBACH, Günther
    D-50996 Köln-Rodenkirchen (DE)
  • MALLENER, Werner
    D-40477 Düsseldorf (DE)

   


(54) DÜNNE, FEINPORIGE METALLSCHICHT