NACELLE D'EPITAXIE ET PROCEDE POUR DEPOT D'UNE COUCHE DE CDHGTE PAR EPITAXIE EN PHASE LIQUIDE - Patent 0983395

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EP 0 983 395 A1

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(43)	Date de publication:
	08.03.2000 Bulletin 2000/10

(21)	Numéro de dépôt: 98925759.7

(22)	Date de dépôt: 20.05.1998

(51)	Int. Cl.⁷: C30B 19/06, C30B 19/04

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR9801/013

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 9853/123 (26.11.1998 Gazette 1998/47)

(84)	Etats contractants désignés:
	DE GB IT

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Priorité:

21.05.1997 FR 9706175

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75015 Paris Cédex 15 (FR)

(72)	Inventeurs:
	PELLICIARI, Bernard F-38120 Saint-Egrève (FR) POLGE, Bernard F-38000 Grenoble (FR)

(74)	Mandataire: Des Termes, Monique et al
	Société Brevatome3, rue du Docteur Lanceraux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	NACELLE D'EPITAXIE ET PROCEDE POUR DEPOT D'UNE COUCHE DE CDHGTE PAR EPITAXIE EN PHASE LIQUIDE