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(11) |
EP 0 988 453 B1 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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20.08.2003 Patentblatt 2003/34 |
| (22) |
Anmeldetag: 09.06.1998 |
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| (86) |
Internationale Anmeldenummer: |
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PCT/EP9803/544 |
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Internationale Veröffentlichungsnummer: |
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WO 9805/7067 (17.12.1998 Gazette 1998/50) |
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| (54) |
SCHRAUBENSPINDELVAKUUMPUMPE UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DERSELBEN
SCREW SPINDLE VACUUM PUMP AND OPERATING METHOD
POMPE A VIDE A VIS ET SON PROCEDE DE FONCTIONNEMENT
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB IE IT LI NL PT SE |
| (30) |
Priorität: |
11.06.1997 DE 19724643
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| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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29.03.2000 Patentblatt 2000/13 |
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Patentinhaber: Sterling Fluid Systems (Germany) GmbH |
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25524 Itzehoe (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- KÖSTERS, Heiner
D-25524 Itzehoe (DE)
- DAHMLOS, Christian
D-25569 Kremperheide (DE)
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Vertreter: Glawe, Delfs, Moll & Partner |
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Patentanwälte
Rothenbaumchaussee 58 20148 Hamburg 20148 Hamburg (DE) |
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Entgegenhaltungen: :
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- PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 012, no. 251 (M-718), 15. Juli 1988 -& JP 63 036085
A (TAIKO KIKAI KOGYO KK), 16. Februar 1988
- PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 012, no. 347 (M-743), 19. September 1988 & JP 63 106389
A (HITACHI LTD), 11. Mai 1988
- PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 294 (M-1424), 7. Juni 1993 & JP 05 018381
A (EBARA CORP), 26. Januar 1993
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Temperatur des von einem Verdichter geförderten Gases erhöht sich gemäß dem Verdichtungsdruckverhältnis.
Bei Schraubenverdichtern, die auf möglichst geringes Spiel sowohl zwischen den beiden
Rotoren als auch zwischen den Rotoren und dem Gehäuse angewiesen sind, kann die an
den Teilen des Verdichters verursachte Wärmedehnung zu Problemen führen. Es ist bekannt
(DE-A 195 22 559), die Temperatur des in den Förderzellen der Maschine enthaltenen
Gases durch Voreinlaß herabzusetzen. Darunter versteht man den Einlaß kühleren Fördermediums
in die Förderzellen von einer Stelle höheren Drucks her. Die jeweils den Kammern zugeführte
Voreinlaßmenge ist dabei mit Rücksicht auf den Wirkungsgrad der Maschine gering. So
genügt es beispielsweise beim Betrieb einer Schraubenspindelmaschine als Verdichter
(US-A 4,812,110; US-A 5,082,427), lediglich einen Teil des geförderten Gases zum Voreinlaß
zurückzuführen. Auch sind beim Betrieb einer Schraubenspindelmaschine als Vakuumpumpe
andere Voraussetzungen als im Verdichterbetrieb zu beachten. Erstens ist das Druckverhältnis
im Vakuumbetrieb ungleich höher als im Verdichterbetrieb, nämlich typischerweise weit
über 100. Zweitens ist - entsprechend diesem Druckverhältnis - die im geförderten
Gas erreichte Temperatur wesentlich höher. Schließlich muß darauf geachtet werden,
daß das erreichbare Vakuum nicht durch Rückströmung des Voreinlasses beeinträchtigt
wird.
[0002] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Schraubenspindelvakuumpumpe und ein
Verfahren zum Betrieb derselben zu schaffen, die durch Voreinlaß eine effektive Kühlung
bei geringer Beeinträchtigung des Wirkungsgrads und des erreichbaren Vakuums erlauben.
[0003] Die erfindungsgemäße Lösung besteht in den Merkmalen der Ansprüche 1 bis 3. Demnach
wird eine Schraubenspindelvakuumpumpe vorausgesetzt, die längs jedes Rotors mindestens
drei hintereinander liegende Förderkammern aufweist. Diese sind jeweils abgeschlossen,
wenn man von dem bei trockener Förderung unvermeidlichen Spiel absieht. Bei einer
solchen Maschine ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die druckseitig letzte Kammer,
kurz bevor sie sich zur Druckseite hin öffnet, durch den Voreinlaß nahezu oder völlig
auf den Verdichtungsenddruck gebracht wird, indem ein Voreinlaßstrom kühlen Gases
eingelassen wird, der mindestens fünfmal größer ist als der Ansaugmassenstrom. Dabei
wird ein Betriebspunkt vorausgesetzt, in welchem das Verhältnis der äußeren zur inneren
Verdichtung mindestens fünf ist. Zum einen wird dadurch eine effektive Kühlung in
dem bezüglich der Temperaturführung kritischsten Bereich der Rotoren erreicht. Zum
anderen wirkt sich diese Kühlung auch auf die vorletzte Kammer aus, weil ein Teil
des unter wesentlich höherem Druck stehenden, kühleren Gases in der letzten Kammer
zur vorletzten zurückströmt. Schließlich hat diese Anordnung den Vorteil, daß die
Geräuschentwicklung beträchtlich vermindert wird, weil dann, wenn die letzte Kammer
sich zur Druckseite hin öffnet, der Druckausgleich schon im wesentlichen vollendet
ist. Damit ist gemeint, daß wenigstens 75% des Enddrucks durch den Voreinlaß vor dem
druckseitigen Öffnen der letzten Kammer erreicht sind, vorzugsweise 90%.
[0004] Ein so starker Voreinlaß ist bei bekannten Maschinen, deren Kammerzahl geringer ist,
nicht möglich, weil infolge größerer Leckverluste der Druck in der Kammer beim Öffnen
des Auslasses schon stärker angewachsen ist und demzufolge eine geringere Druckdifferenz
für den Voreinlaß zur Verfügung steht.
[0005] Auch spielt in diesem Zusammenhang wieder der erhebliche Unterschied im Druckverhältnis
zwischen Verdichtern und Vakuumpumpen eine Rolle; infolge des geringeren Druckverhältnisses
herrscht bei Verdichtern in der sich zum Auslaß hin öffnenden Kammer ein verhältnismäßig
höherer Druck als bei Vakuumpumpen.
[0006] Unter der inneren Verdichtung ist das Verhältnis der Volumina der der Saugseite nächsten
Kammer beim Schließen dieser Kammer und der der Druckseite nächsten Kammer beim Öffnen
dieser Kammer zu verstehen. Wenn die Querschnittsform der Schraubenspindeln über die
Länge konstant ist, ist die innere Verdichtung gleich 1.
[0007] Eine weitere Möglichkeit zur Definition des erfindungsgemäßen Voreinlasses ist in
Anspruch 2 enthalten. Danach soll der druckseitig letzten Kammer, bevor sie sich zur
Druckseite hin öffnet, ein Voreinlaßvolumenstrom zugeführt werden, der größer ist
als 75% des theoretischen Saugvermögens dieser Kammer im Zeitpunkt des Voreinlasses
geteilt durch das innere Verdichtungsverhältnis. Wenn sich der Voreinlaß über eine
Zeitspanne nicht unerheblicher Länge erstreckt, ist der Zeitpunkt zugrunde zu legen,
in welchem der Voreinlaß endet. Statt dessen kann auch der mittlere Zeitpunkt zwischen
dem Öffnen und dem Schließen des Voreinlasses zugrunde gelegt werden. Der Volumenstrom
ist auf den Auslaßdruck und die Temperatur des einzulassenden Gases zu beziehen. Das
theoretische Saugvermögen ist das Volumen der Kammer im maßgebenden Zeitpunkt multipliziert
mit der Drehzahl.
[0008] Die bisher üblichen, kleinen Voreinlaßöffnungen, denen eine beträchtliche Drosselwirkung
innewohnt, reichen dafür nicht aus. Nach einer Faustregel soll der Querschnitt der
Voreinlaßöffnung in mm
2 mindestens so groß sein wie das theoretische Saugvermögen der zugeordneten Kammer
in m
3/h, vorzugsweise jedoch doppelt, weiter vorzugsweise dreifach so groß. Dies setzt
selbstverständlich voraus, daß der Voreinlaßöffnung, also derjenigen Wandöffnung,
die das Gas in die Kammer einführt, keine engeren Querschnitte vorgeschaltet sind,
die die Wirkung der Öffnungsweite wieder beeinträchtigen. Das theoretische Saugvermögen
der Kammer ist in diesem Zusammenhang das Produkt aus dem Volumen dieser Förderkammer,
der Zahl der Schraubengänge und der Drehzahl, wobei die maximale Drehzahl zugrunde
gelegt wird, mit der im Dauerbetrieb zu rechnen ist.
[0009] Diese Definition des theoretischen Saugvermögens enthält im Unterschied zu der oben
unter Bezugnahme auf Anspruch 2 gegebenen Definition die Zahl der Schraubengänge als
Faktor. Dies erklärt sich daraus, daß hier die Gesamtheit der Einlaßöffnungen angesprochen
ist, die im Falle einer mehrgängigen Schraubenspindel gleichzeitig mehreren Kammern
zugeordnet sein können, während in Anspruch 2 lediglich eine einzelne Kammer betrachtet
wird.
[0010] Besonders wirksam ist der erfindungsgemäße, kräftige Voreinlaß in der letzten Stufe
dann, wenn die Schraubengangsteigung der Rotoren konstant ist, die Verdichtung also
theoretisch isochor stattfindet. Aber auch bei abnehmender Steigung bewährt sich die
Erfindung, weil die Steigung in der Regel niemals so stark vermindert wird, daß auch
ohne Voreinlaß in der letzten Stufe im normalen Betriebspunkt der Pumpe der Enddruck
erreicht wird. Im übrigen schließt die Erfindung nicht aus, daß zusätzlich zu dem
kräftigen Voreinlaß in der letzten Stufe auch noch ein geringer Voreinlaß in früheren
Stufen vorgesehen ist, obgleich dies in den meisten Anwendungsfällen unnötig oder
gar unerwünscht ist.
[0011] Da der erfindungsgemäße Voreinlaß erst in der letzten Stufe stattfindet und mindestens
drei aufeinanderfolgende Förderkammern vorgesehen sind, ist die Verschlechterung des
Saugvermögens der Vakuumpumpe vernachlässigbar, sofern die Drehzahl nicht zu gering
ist.
[0012] Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ist die
Voreinlaßöffnung als Schlitz ausgebildet, bei dem wenigstens die druckseitige Begrenzungskante
parallel zu dem zugehörigen Verdrängerschraubengang ausgebildet ist. Dies ergibt den
Vorteil, daß der Schlitz bis zum letztmöglichen Zeitpunkt mit größtmöglichem Querschnitt
offen ist. Die Schlitzlänge soll zweckmäßigerweise größer als 1/10 des Rotordurchmessers
sein, vorzugsweise auch größer als 1/5. Sie liegt zweckmäßigerweise in der Größenordnung
eines Drittels des Rotordurchmessers. Die Breite der Voreinlaßöffnung in Axialrichtung
liegt zweckmäßigerweise zwischen der halben und der ganzen Kopfbreite (in derselben
Richtung gemessen) des Verdrängerschraubengangs. Sie kann die Kopfbreite sogar ein
wenig übersteigen, solange die Voreinlaßfüllung der druckseitig letzten Kammer nicht
durch die bereits eintretende Verbindung der Voreinlaßöffnung mit der folgenden Kammer
gefährdet wird.
[0013] Auch die saugseitige Begrenzungskante der Voreinlaßöffnung kann parallel zum zugehörigen
Verdrängerschraubengang verlaufen. Jedoch kann es zweckmäßiger sein, die saugseitige
Begrenzungskante zumindest teilweise geneigt zum zugehörigen Verdrängerschraubengang
auszubilden, um dadurch ein schlagartiges Öffnen der Voreinlaßöffnung, das mit unerwünschter
Schallerzeugung verbunden sein könnte, zugunsten eines allmählichen Öffnens zu vermeiden.
Im allgemeinen wird angestrebt, daß die Voreinlaßöffnung geschlossen ist, bevor die
Kammer sich druckseitig öffnet. Mit anderen Worten ist die Voreinlaßöffnung bei derjenigen
Rotorstellung, in der sich die Kammer soeben druckseitig öffnet, von dem zugehörigen
Schraubengang gerade abgedeckt. Dadurch wird beispielsweise vermieden, daß ein beim
Öffnen von der Druckseite her in die Kammer eindringender Druckstoß bis zur Voreinlaßöffnung
vordringt und erhitztes Gas in diese zurücktreibt, das die Kühlwirkung beim nächsten
Voreinlaßvorgang vermindern würde. Auch schalltechnische Unannehmlichkeiten können
dadurch vermieden werden. In vielen Fällen ist es aber nicht erforderlich, daß die
Voreinlaßöffnung beim druckseitigen Öffnen der Kammer bereits geschlossen ist, sofern
dafür gesorgt ist, daß die Voreinlaßöffnung in derjenigen Zeitspanne geschlossen wird,
die der von der druckseitigen Öffnung der Kammer mit Schallgeschwindigkeit ausgehende
Druckimpuls bis zum Erreichen der Voreinlaßöffnung benötigen würde. Mit anderen Worten
soll der freie, axiale Überstand der Voreinlaßöffnung über die Abdeckkante des zugehörigen
Schraubengangs kleiner sein als ihr Abstand von dem die druckseitige Öffnung der Kammer
bildenden Ende des Schraubengangs, multipliziert mit der Umdrehungszahl und dividiert
durch die Schallgeschwindigkeit.
[0014] Es reicht im allgemeinen, wenn diese Bedingungen, die zur Vermeidung eines unerwünschten
Zusammenwirkens zwischen Voreinlaßöffnung und druckseitiger Kammeröffnung vorgesehen
sind, bei hoher Betriebsgeschwindigkeit (beispielsweise oberhalb 6.000 min
-1) vorliegen, weil bei niedrigeren Geschwindigkeiten diese Nachteile weniger ins Gewicht
fallen.
[0015] Bei den obigen Ausführungen wurde vorausgesetzt, daß der Voreinlaß durch das Zusammenwirken
der Voreinlaßöffnung mit der Kopffläche eines Schraubengangs gesteuert wird. Obwohl
dies die bevorzugte Ausführung ist, soll nicht ausgeschlossen sein, daß der Voreinlaßöffnung
Ventile vorgeschaltet sind, die für die zeitliche Steuerung des Voreinlasses verantwortlich
oder, neben der Schraubengang-Kopffläche, mitverantwortlich sind.
[0016] Es sei darauf hingewiesen, daß der Begriff Voreinlaßöffnung oder Schlitz nicht verlangt,
daß die Öffnung ungeteilt ist. Aus herstellungswirtschaftlichen Gründen kann man eine
solche Öffnung beispielsweise aus einer Vielzahl einzelner Bohrungen zusammensetzen,
die durch Stege voneinander getrennt sind. Dies ergibt den Vorteil, daß der Voreinlaß
durch entsprechende Streckung der Voreinlaßöffnung über einen größeren Teil der Kammerlänge
stattfinden kann. Bevorzugt wird eine Ausführung, bei welcher sich die aus mehreren
getrennten Teilöffnungen zusammensetzende Voreinlaßöffnung über mindestens die Hälfte
der Kammerlänge erstreckt. Sie kann bis zu 270° betragen.
1. Verfahren zum Betrieb einer Schraubenspindelvakuumpumpe mit mindestens drei längs
jedes Rotors hintereinander liegenden abgeschlossenen Förderkammern und mit Voreinlaß
zum Zuführen kühlen Gases, dadurch gekennzeichnet, daß die druckseitig letzte Kammer, kurz bevor sie sich zur Druckseite öffnet, durch den
Voreinlaß nahezu auf den Verdichtungsenddruck gebracht wird und daß bei einem Verhältnis
der äußeren zur inneren Verdichtung von mindestens 5 der Voreinlaß-Massenstrom mindestens
5-mal größer ist als der Ansaug-Massenstrom.
2. Verfahren zum Betrieb einer Schraubenspindelvakuumpumpe mit mindestens drei längs
jedes Rotors hintereinanderliegenden abgeschlossenen Förderkammern und mit Voreinlaß
zum Zuführen kühlen Gases, dadurch gekennzeichnet, daß der druckseitig letzten Kammer, bevor sie sich zur Druckseite öffnet, ein Voreinlaßvolumenstrom
zugeführt wird, der (bezogen auf den Auslaßdruck) größer ist als 75% des theoretischen
Saugvermögens dieser zugeordneten Kammer geteilt durch das innere Verdichtungsverhältnis.
3. Schraubenspindelvakuumpumpe mit einem Paar innerhalb eines Schöpfraums umlaufender
Verdrängerrotoren, deren Schraubengänge unter Bildung von mindestens drei hintereinander
angeordneten, voneinander abgeschlossenen Kammern ineinander greifen, und mit wenigstens
einer der druckseitig letzten Kammer zugeordneten Voreinlaßöffnung, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Voreinlaßöffnung in mm2 mindestens so groß ist wie das theoretische Saugvermögen der zugeordneten Kammer
in m3/h.
4. Schraubenspindelvakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Voreinlaßöffnung als Schlitz und wenigstens ihre druckseitige Begrenzungskante
parallel zu dem zugehörigen Verdrängerschraubengang ausgebildet ist.
5. Schraubenspindelvakuumpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlitzlänge größer als 1/10 des Rotordurchmessers ist.
6. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Voreinlaßöffnung in Axialrichtung zwischen der halben und der ganzen
Kopfbreite des Verdrängerschraubengangs liegt.
7. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Voreinlaßöffnung in Axialrichtung größer als die Kopfbreite des Verdrängerschraubengangs
ist.
8. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß auch die saugseitige Begrenzungskante parallel zum zugehörigen Verdrängerschraubengang
verläuft.
9. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die saugseitige Begrenzungskante zumindest teilweise geneigt zum zugehörigen Verdrängerschraubengang
verläuft.
10. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Voreinlaßöffnung bei derjenigen Rotorstellung, in der sich die Kammer soeben
druckseitig öffnet, von dem zugehörigen Schraubengang gerade abgedeckt ist.
11. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Voreinlaßöffnung bei derjenigen Rotorstellung, in der sich die Kammer soeben
druckseitig öffnet, von dem zugehörigen Schraubengang noch nicht gänzlich abgedeckt
ist, aber ihr freier, axialer Überstand über die Abdeckkante dieses Schraubengangs
kleiner ist als ihr Abstand vom Ende des der druckseitigen Kammeröffnung zugeordneten
Endes des Schraubengangs mal Umdrehungszahl durch Schallgeschwindigkeit.
12. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Voreinlaßöffnung aus einer Mehrzahl von Bohrungen zusammengesetzt ist.
13. Schraubenspindelvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die sich ggf. aus mehreren Teilöffnungen zusammensetzende Voreinlaßöffnung über mindestens
die Hälfte der Kammerlänge erstreckt.
1. Method for operating a screw-spindle vacuum pump with at least three closed-off feed
chambers located one behind the other along each rotor and with pre-admission for
the supply of cool gas, characterized in that the chamber which is last on the delivery side is brought virtually to the compression
limit pressure by means of pre-admission, shortly before it opens towards the delivery
side, and in that, in the case of a ratio of external compression to internal compression of at least
5, the pre-admission mass stream is at least 5 times greater than the intake mass
stream.
2. Method for operating a screw-spindle vacuum pump with at least three closed-off feed
chambers located one behind the other along each rotor and with pre-admission for
the supply of cool gas, characterized in that the chamber which is last on the delivery side, before it opens towards the delivery
side, has supplied to it a pre-admission volume stream which (in relation to the outlet
pressure) is greater than 75% of the theoretical suction capacity of this associated
chamber, divided by the internal compression ratio.
3. Screw-spindle vacuum pump with a pair of displacement rotors which rotate within a
suction space and the screw flights of which engage in one another to form at least
three chambers arranged one behind the other and closed off from one another, and
with at least one pre-admission orifice assigned to the chamber which is last on the
delivery side, characterized in that the cross-section of the pre-admission orifice in mm2 is at least as great as the theoretical suction capacity of the associated chamber
in m3/h.
4. Screw-spindle vacuum pump according to Claim 3, characterized in that the pre-admission orifice is designed as a slot and at least its delivery-side delimiting
edge is designed to be parallel to the associated displacement screw flight.
5. Screw-spindle vacuum pump according to Claim 4, characterized in that the slot length is greater than 1/10 of the rotor diameter.
6. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 5, characterized in that the width of the pre-admission orifice in the axial direction is between half and
the full head width of the displacement screw flight.
7. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 5, characterized in that the width of the pre-admission orifice in the axial direction is greater than the
head width of the displacement screw flight.
8. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 7, characterized in that the suction-side delimiting edge also runs parallel to the associated displacement
screw-flight.
9. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 7, characterized in that the suction-side delimiting edge runs at least partially at an inclination relative
to the associated displacement screw flight.
10. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 9, characterized in that the pre-admission orifice is just covered by the associated screw flight when the
rotor is in the position in which the chamber is just opening on the delivery side.
11. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 9, characterized in that the pre-admission orifice is not yet covered completely by the associated screw flight
when the rotor is in the position in which the chamber is just opening on the delivery
side, but the free axial projecting length of the pre-admission orifice beyond the
covering edge of this screw flight is smaller than the distance of the said pre-admission
orifice from the end of that end of the screw flight which is assigned to the opening
of the chamber on the delivery side, multiplied by the rotational speed and divided
by the sound velocity.
12. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 11, characterized in that the pre-admission orifice is composed of a plurality of bores.
13. Screw-spindle vacuum pump according to one of Claims 3 to 12, characterized in that the pre-admission orifice composed, if appropriate, of a plurality of part orifices
extends over at least half the chamber length.
1. Procédé pour faire fonctionner une pompe à vide à vis comportant au moins trois chambres
de refoulement fermées situées l'une derrière l'autre le long de chaque rotor et une
pré-admission pour l'admission d'un gaz froid, caractérisé en ce que juste avant que la dernière chambre côté refoulement ne s'ouvre vers le côté refoulement,
elle est amenée par la pré-admission pratiquement à la pression finale de compression,
et en ce que pour un rapport d'au moins 5 de la compression extérieure à la compression intérieure,
le flux massique de pré-admission est au moins 5 fois supérieur au flux massique d'aspiration.
2. Procédé pour faire fonctionner une pompe à vide à vis comportant au moins trois chambres
de refoulement fermées situées l'une derrière l'autre le long de chaque rotor et une
pré-admission pour l'alimentation d'un gaz froid, caractérisé en ce que juste avant que la dernière chambre côté refoulement ne s'ouvre vers le côté refoulement,
on lui envoie un flux volumique de pré-admission qui (rapporté à la pression d'échappement)
est supérieur à 75 % du pouvoir d'absorption théorique de cette chambre associée,
divisé par le rapport de compression intérieur.
3. Pompe à vide à vis comportant deux rotors de refoulement tournant à l'intérieur d'une
chambre de détente, dont les filets s'engagent les uns dans les autres en formant
au moins trois chambres disposées l'une derrière l'autre et séparées l'une de l'autre,
et comportant au moins un orifice de pré-admission associé à la dernière chambre côté
refoulement, caractérisée en ce que la section transversale de l'orifice de pré-admission en mm2 est au moins aussi grand que le pouvoir d'aspiration théorique de la chambre associée
en m3/h.
4. Pompe à vide à vis selon la revendication 3, caractérisée en ce que l'orifice de pré-admission est réalisé en tant que fente et au moins son bord de
délimitation côté refoulement est parallèle au pas de vis de refoulement correspondant.
5. Pompe à vide à vis selon la revendication 4, caractérisée en ce que la longueur de la fente est supérieure à 1/10 du diamètre du rotor.
6. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 5, caractérisée en ce que la largeur de l'orifice de pré-admission dans la direction axiale se situe entre
la moitié et la totalité de la largeur de tête du filet de refoulement.
7. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 5, caractérisée en ce que la largeur de l'orifice de pré-admission dans la direction axiale est supérieure
à la largeur de tête du filet de la vis de refoulement.
8. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 7, caractérisée en ce que le bord de délimitation côté aspiration s'étend aussi parallèlement au filet de refoulement
correspondant.
9. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 7, caractérisée en ce que le bord de délimitation côté aspiration s'étend au moins partiellement incliné par
rapport au filet de la vis de refoulement correspondant.
10. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 9, caractérisée en ce que dans la position du rotor dans laquelle la chambre vient de s'ouvrir côté refoulement,
l'orifice de pré-admission est tout juste recouvert par le filet de vis correspondant.
11. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 9, caractérisée en ce que dans la position du rotor dans laquelle la chambre vient de s'ouvrir côté refoulement,
l'orifice de pré-admission n'est pas encore totalement recouvert par le filet de vis
correspondant, mais son libre porte-à-faux axial par rapport au bord de recouvrement
de ce filet est inférieur à sa distance par rapport à l'extrémité du filet associée
à l'ouverture de la chambre côté refoulement, multiplié par la vitesse de rotation
et divisé par la vitesse du son.
12. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 11, caractérisée en ce que l'orifice de pré-admission est composé d'une pluralité de perçages.
13. Pompe à vide à vis selon l'une des revendications 3 à 12, caractérisée en ce que l'orifice de pré-admission, se composant éventuellement de plusieurs orifices partiels,
s'étend sur au moins la moitié de la longueur de la chambre.