(19)
(11) EP 0 989 899 A1

(12)

(43) Date de publication:
05.04.2000  Bulletin  2000/14

(21) Numéro de dépôt: 98922860.6

(22) Date de dépôt:  24.04.1998
(51) Int. Cl.7: B01D 53/22, B01D 53/75, B01D 53/86
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR9800/822
(87) Numéro de publication internationale:
WO 9857/729 (23.12.1998 Gazette  1998/51)
(84) Etats contractants désignés:
DE FR GB

(30) Priorité: 17.06.1997 FR 9707507

(71) Demandeur: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POURL'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
75321 Paris Cédex 07 (FR)

(72) Inventeurs:
  • VERBOCKHAVEN, Denis
    F-75015 Paris (FR)
  • BONET, Claude
    F-75015 Paris (FR)
  • SINDZINGRE, Thierry
    F-94230 Cachan (FR)

(74) Mandataire: Mellul, Sylvie Lisette 
L'Air Liquide,Service Propriété Industrielle,75, Quai d'Orsay
75321 Paris Cedex 07
75321 Paris Cedex 07 (FR)

   


(54) PROCEDE ET DISPOSITIF DE FOURNITURE DE PLUSIEURS GAZ DE TRAVAIL, ET SON APPLICATION A UNE INSTALLATION D'ASSEMBLAGE DE COMPOSANTS ELECTRONIQUES