(19)
(11)
EP 0 992 066 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
12.04.2000
Patentblatt 2000/15
(21)
Anmeldenummer:
98941230.9
(22)
Anmeldetag:
24.06.1998
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H01L
23/525
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9801/741
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9859/370
(
30.12.1998
Gazette 1998/52)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE
(30)
Priorität:
24.06.1997
DE 19726881
(71)
Anmelder:
Infineon Technologies AG
81541 München (DE)
(72)
Erfinder:
KANITZ, Sven
D-01109 Dresden (DE)
(74)
Vertreter:
Zedlitz, Peter
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)
(54)
HALBLEITERSCHALTUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG