(19)
(11) EP 0 992 066 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.04.2000  Patentblatt  2000/15

(21) Anmeldenummer: 98941230.9

(22) Anmeldetag:  24.06.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 23/525
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9801/741
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9859/370 (30.12.1998 Gazette  1998/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE

(30) Priorität: 24.06.1997 DE 19726881

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KANITZ, Sven
    D-01109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter 
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) HALBLEITERSCHALTUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG