(19)

(11)

EP 0 996 981 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.05.2000  Patentblatt  2000/18 (21) Anmeldenummer: 99917767.8 (22) Anmeldetag:  03.03.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9900/568 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9953/550 (21.10.1999 Gazette  1999/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT (30) Priorität: 08.04.1998 DE 19815851 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE)