(19)
(11) EP 0 998 754 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.05.2000  Patentblatt  2000/19

(21) Anmeldenummer: 98947305.3

(22) Anmeldetag:  17.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/336, H01L 29/78
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/022
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9905/714 (04.02.1999 Gazette  1999/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 22.07.1997 DE 19731496

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • STRACK, Helmut
    D-80804 München (DE)
  • GASSEL, Helmut
    D-81827 München (DE)
  • LARIK, Joost
    D-85586 Poing (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter et al
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN DURCH FELDEFFEKT GESTEUERTES HALBLEITERBAUELEMENT