(19)
(11) EP 1 000 362 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.05.2000  Patentblatt  2000/20

(21) Anmeldenummer: 98945041.6

(22) Anmeldetag:  23.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01R 27/26, G06K 9/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/078
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9908/121 (18.02.1999 Gazette  1999/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE ES FR GB IT LI

(30) Priorität: 05.08.1997 DE 19733865

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • VON BASSE, Paul-Werner
    D-82515 Wolfratshausen (DE)
  • WILLER, Josef
    D-85521 Riemerling (DE)
  • SCHEITER, Thomas
    D-82041 Oberhaching (DE)
  • MARKSTEINER, Stephan
    D-81739 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG SEHR KLEINER KAPAZITÄTEN UND DAMIT KONZIPIERTER SENSOR