(19)
(11) EP 1 002 338 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.05.2000  Patentblatt  2000/21

(21) Anmeldenummer: 98948693.1

(22) Anmeldetag:  30.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/544
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/187
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9907/016 (11.02.1999 Gazette  1999/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 01.08.1997 DE 19733410

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MARX, Eckhard
    D-01471 Radeburg (DE)
  • GERHARD, Detlef
    D-81739 München (DE)
  • FRANKE, Steffen
    D-01109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) WAFERMARKIERUNG