(19)
(11) EP 1 005 703 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.06.2000  Patentblatt  2000/23

(21) Anmeldenummer: 98951303.1

(22) Anmeldetag:  18.08.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/48, H01L 23/13
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9805/251
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9910/926 (04.03.1999 Gazette  1999/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB IT LI NL

(30) Priorität: 22.08.1997 DE 19736654

(71) Anmelder: Siemens S.A.
1060 Bruxelles (BE)

(72) Erfinder:
  • HEERMAN, Marcel
    B-9200 Merelbeke (BE)
  • VAN PUYMBROECK, Jozef
    B-8020 Oostkamp (BE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. 
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRISCH LEITENDEN QUERVERBINDUNGEN ZWISCHEN ZWEI VERDRAHTUNGSLAGEN AUF EINEM SUBSTRAT