Verfahren zum Regenerieren einer Prozesslösung

Abstract

 Es wird ein Verfahren zum Regenerieren einer Prozeßlösung angegeben, die bei der chemisch-reduktiven Abscheidung von Metallschichten verwendet wird und Hypophosphit sowie Orthophosphit enthält. Die Prozeßlösung wird einer mindestens vier Kammern aufweisenden Elektrodialysezelle (EZ) aufgegeben, die eine verdünnte Säure enthaltende Anodenkammer (1) mit einer darin befindlichen Anode (2), eine Kathodenkammer (3) mit einer darin befindlichen Kathode (4) sowie zwei weitere, durch eine Anionenaustauscher-Membran (AM2) voneinander getrennte und zwischen diesen beiden Kammern (5, 6) angeordnete Kammern aufweist. Von den beiden Kammern (5, 6) ist eine erste Kammer (5) durch eine Anionenaustauscher-Membran (AM1) von der Kathodenkammer (3) getrennt, während eine zweite Kammer (6) durch eine Kationenaustauschermembran (KM1) von der Anodenkammer (1) getrennt ist. Die Prozeßlösung wird bei Durchführung des Verfahrens der ersten Kammer (5) aufgegeben, wodurch die in ihr enthaltenen Hypophosphit-Ionen und Orthophosphit-Ionen elektrodialytisch in die zweite Kammer (6) und gleichzeitig als Hypophosphit-Ionen aus der Kathodenkammer (3) in die Prozeßlösung transportiert werden. Zur einfachen Entfernung des Orthophosphits aus der Prozeßlösung wird das in der zweiten Kammer (6) durch Zutritt von Protonen aus der Anodenkammer (1) gebildete Säuregemisch einem in der Hypophosphit-Beladung befindlichen, schwachbasischen Anionenaustauscher (T1) zugeführt, der mit seinem Auslaß an die Kathodenkammer (3) angeschlossen ist.

Beschreibung

[0001] Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Regenerieren einer Prozeßlösung, die bei der chemisch-reduktiven Abscheidung von Metallschichten verwendet wird und Hypophosphit sowie Orthophosphit enthält, bei welchem die Prozeßlösung einer mindestens vier Kammern aufweisenden Elektrodialysezelle aufgegeben wird, die eine verdünnte Säure enthaltende Anodenkammer mit einer darin befindlichen Anode, eine Kathodenkammer mit einer darin befindlichen Kathode sowie zwei weitere, durch eine Anionenaustauscher-Membran voneinander getrennte und zwischen diesen beiden Kammern angeordnete Kammern aufweist, von denen eine erste Kammer durch eine Anionenaustauscher-Membran von der Kathodenkammer getrennt ist, während eine zweite Kammer durch eine Kationenaustauschermembran von der Anodenkammer getrennt ist, bei welchem die Prozeßlösung bei Durchführung des Verfahrens der ersten Kammer aufgegeben wird, wodurch die in ihr enthaltenen Hypophosphit-Ionen und Orthophosphit-Ionen elektrodialytisch in die zweite Kammer und gleichzeitig Hypophosphit-Ionen aus der Kathodenkammer in die Prozeßlösung transportiert werden, und bei welchem regenerierte Prozeßlösung entnommen und einer weiteren Verwendung zugeführt wird (DE-A-4 310 366 und US-A-5 419 821).

[0002] Bei der Oberflächenveredlung werden verstärkt Beschichtungsverfahren eingesetzt, bei denen in einer wäßrigen Lösung enthaltene NE-Metallionen mittels chemischer Reduktion auf Substratoberflächen aus Metall oder vorbehandeltem Kunststoff als NE-Metalle abgeschieden werden. Beschichtungsmetalle sind beispielsweise Kupfer, Nickel, Silber und Gold. Als Reduktionsmittel wird beispielsweise Hypophosphit verwendet. Da die chemisch-reduktive Nickelabscheidung ein in der Praxis häufig verwendetes Verfahren ist, beziehen sich die folgenden Ausführungen - stellvertretend für alle anderen verwendbaren Metalle - auf Nickel.

[0003] Bei der chemisch-reduktiven Abscheidung von Nickel wird das Reduktionsmittel Hypophosphit (H₂PO₂) verbraucht. Hingegen reichert sich das als Reaktionsprodukt gebildete oxidierte Reduktionsmittel Orthophosphit (HPO₃^2-) in der Prozeßlösung an. Durch Nebenreaktionen, wie die Reduktion von Hypophosphit zu elementarem Phosphor, der in die abgeschiedene Nickelschicht eingebaut wird, ergibt sich ein Verbrauch von etwa 3 mol Hypophosphit pro mol abgeschiedenem Nickel. Das hat zur Folge, dass die Hypophosphit-Konzentration in der Prozeßlösung abnimmt und durch Zugabe von Ergänzungschemikalien wieder angehoben werden muß. Die Konzentration an Orthophosphit dagegen steigt an.

[0004] Mit steigender Konzentration destabilisiert das Orthophosphit die Prozeßlösung. Das führt zu einer rauhen, ungleichmäßigen Nickelabscheidung und zu Ausfällungen in der Prozeßlösung. Daher kann die Prozeßlösung ab einer bestimmten Orthophosphit-Konzentration (Störgrenzkonzentration) nicht mehr zur stromlosen Vernickelung eingesetzt werden. Die nicht mehr nutzbare Prozeßlösung wird zum Teil verworfen und durch eine frische Prozeßlösung ersetzt. Abgearbeitete Prozeßlösungen werden derzeit durch eine aufwendige Neutralisationsfällung oder extern mit hohen Kosten entsorgt. Zur Verlängerung der Nutzungsdauer der Prozeßlösung sind aus der Literatur Verfahren bekannt, bei denen nur die störenden Komponenten zumindest teilweise aus der Prozeßlösung entfernt und die verbrauchten Komponenten - Nickelionen und Reduktionsmittel - nachdosiert werden. Trotzdem sind die Prozeßlösungen nach der Regeneration nur noch beschränkt einsatzfähig.

[0005] Bei dem bekannten Verfahren nach der eingangs erwähnten DE-A-4 310 366 wird zum Regenerieren der Prozeßlösung eine Elektrodialysezelle eingesetzt. Die Reduktion des bei der stromlosen Metallabscheidung gebildeten Orthophosphits soll im Kathodenraum der Elektrodialysezelle erfolgen. Wie die Praxis gezeigt hat, kann das Orthophosphit mit diesem Verfahren jedoch nicht kathodisch zu Hypophosphit reduziert werden, da sich im Regenerierkreislauf kontinuierlich Orthophosphit anreichert, bis die Störgrenzkonzentration der Prozeßlösung erreicht wird. Damit kann kein Orthophosphit mehr aus der abgearbeiteten Prozeßlösung entfernt werden. Erst nach einem Verwurf der Regenerierlösung und dem Einsatz einer frischen, orthophosphitfreien Regenerierlösung, wäre dieses Verfahren kurzzeitig - bis zur erneuten Einstellung des Gleichgewichts - wieder einsatzfähig.

[0006] Gemäß der ebenfalls eingangs erwähnten US-A-5 419 821 werden daher dem Regenerierkreislauf zur Entfernung des Orthophosphits Magnesium- oder Calciumhydroxid zugesetzt, um das Orthophosphit in Form von schwerlöslichen Salzen aus dem Regenerierkreislauf zu entfernen. Die durch den Abscheidevorgang verbrauchten Chemikalien (Nickelionen und Reduktionsmittel) sollen in Form von Nickelsulfat (Zugabe in die Prozeßlösung) und Phosphinsäure (Zugabe in den Katholyten) zugeführt werden, wobei das Sulfat durch Zusatz von Bariumhydroxid in den Katholyten als Bariumsulfat wieder ausgekreist werden soll. Durch den erforderlichen Verwurf der Regenerierlösung oder die Ausfällung des Orthophosphits in Form von schwerlöslichen Erdalkalisalzen werden durch die beiden beschriebenen Verfahren ein hoher Chemikalienbedarf und ein hohes Abfallaufkommen verursacht.

[0007] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs beschriebene Verfahren so weiterzubilden, daß das störende Orthophosphit auf einfache Weise aus der Prozeßlösung enfernt werden kann, so daß eine längere Nutzungsdauer derselben erreichbar ist.

[0008] Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß das in der zweiten Kammer durch Zutritt von Protonen aus der Anodenkammer gebildete Säuregemisch einem in der Hypophosphit-Beladung befindlichen, schwachbasischen Anionenaustauscher zugeführt wird, der mit seinem Auslaß an die Kathodenkammer angeschlossen ist.

[0009] Bei diesem Verfahren werden Elektrodialyse und Ionenaustausch in einfacher Arbeitsweise kombiniert, und zwar derart vorteilhaft, daß das Hypophosphit stöchiometrisch wieder in die Prozeßlösung eingeschleust werden kann, wodurch dieselbe voll funktionsfähig erhalten bleibt. Durch die Elektrodialyse wird das Orthophosphit in eine mineralsaure Lösung überführt, aus der es mittels des schwachbasischen Anionenaustauschers entfernt werden kann. Die Hypophosphit enthaltende, aus dem Ionenaustauscher austretende Lösung wird dem Kathodenraum der Elektrolysezelle aufgegeben, von wo es ohne störende Fremdionen elektrodialytisch durch die Anionentauscher-Membran in die Prozeßlösung zurückgeführt wird. Die von Orthophosphit abgereicherte Prozeßlösung kann dann direkt dem Verfahren zur chemisch-reduktiven Abscheidung von Nickel zugeführt werden. Die Stabilität und die Funktionsfähigkeit der regenerierten Prozeßlösung sind durch äquimolaren Austausch von Orthophosphit gegen Hypophosphit gewährleistet.

[0010] Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.

[0011] Das Verfahren nach der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen in Ausführungsbeispielen erläutert.

[0012] Es zeigen:

Fig. 1 eine für das Verfahren nach der Erfindung verwendbare Anordnung in schematischer Darstellung.

Fig. 2 und 3 zwei unterschiedliche, gegenüber Fig. 1 ergänzte Ausführungsformen der Anordnung.

Fig. 4 bis 6 gegenüber Fig. 1 abgewandelte Ausführungsformen der Anordnung.

[0013] Die in Fig. 1 dargestellte Elektrodialysezelle EZ besteht aus vier Kammern. Das sind eine Anodenkammer (1) mit der darin befindlichen Anode (2), die Kathodenkammer (3) mit der darin befindlichen Kathode (4) sowie zwei weitere Kammern, eine erste Kammer (5) und eine zweite Kammer (6), die sich zwischen der Anodenkammer (1) und der Kathodenkammer (3) befinden. Die Anode (2) besteht in unlöslicher Ausführung beispielsweise aus Stahl oder aus platiniertem Titan-Streckmetall. Die Anodenkammer (1) enthält eine verdünnte Säure, vorzugsweise Schwefelsäure. Die Kathode (4) besteht beispielsweise aus Kupfer oder Stahl.

[0014] Die erste Kammer (5) ist vom Kathodenraum (3) durch eine Anionenaustauscher-Membran (AM 1) und von der zweiten Kammer (6) durch eine Anionenaustauscher-Membran (AM 2) getrennt. Zwischen der zweiten Kammer (6) und dem Anodenraum (1) befindet sich eine Kationenaustauscher-Membran (KM 1). An die zweite Kammer (6) ist ein schwachbasischer Anionenaustauscher (T 1) angeschlossen, der sich zu Beginn des Verfahrens ganz oder teilweise in der Hypophosphit-Beladung befindet. Der Auslaß des Anionenaustauschers (T 1) ist mit der Kathodenkammer (3) verbunden.

[0015] Das Verfahren nach der Erfindung arbeitet mit einer Anordnung nach Fig. 1 beispielsweise wie folgt:

[0016] Die zu regenerierende Prozeßlösung (PL) wird in die erste Kammer (5) der Elektrodialysezelle (EZ) geleitet. Die in der Prozeßlösung (PL) enthaltenen Hypophosphit- und Orthophosphit-Ionen treten durch die Anionenaustauscher-Membran (AM 2) hindurch und gelangen in die zweite Kammer (6), die von der Kationenaustauscher-Membran (KM 1) zur Anode (2) begrenzt ist und in der sich eine verdünnte Säure befindet. Aus der Anodenkammer (1) gelangen Protonen, die durch Wasserzersetzung an der Anode (2) gebildet werden, in die zweite Kammer (6). Sie bilden zusammen mit dem elektrodialytisch transportierten Anionen Hypophosphit und Orthophosphit die freien Säuren Hypophosphorsäure (Phosphinsäure, H₃PO₂) und Phosphorige Säure (Phosphonsäure, H₃PO₃). Durch die Kationenaustauscher-Membran (KM 1) werden diese Anionen am Übertritt in die eine verdünnte Säure enthaltende Anodenkammer (1) gehindert. Die Säuremischung von Phosphinsäure und Phosphonsäure wird über den schwachbasischen Anionenaustauscher (T 1) geleitet, der sich in der Hypophosphit-Beladung befindet.

[0017] Der Anionenaustauscher (T 1) bindet die Orthophosphit-Ionen und gibt die Hypophosphit-Ionen in die Lösung ab. Die noch in der Lösung befindlichen Hypophosphit-Ionen werden vom Anionenaustauscher (T 1) nicht gebunden. Der Ablauf des Anionenaustauschers (T 1) wird in die Kathodenkammer (3) der Elektrodialysezelle (EZ) geleitet. Von dort werden die Hypophosphit-Ionen elektrodialytisch durch die Anionenaustauscher-Membran (AM 1) in die Prozeßlösung (PL) transportiert. Sobald die Kapazität des Anionenaustauschers (T 1) erschöpft ist, wird er beispielsweise mit Natronlauge regeneriert. Das Regenerat (R) des Anionenaustauschers (T 1) enthält das gesamte Orthophosphit, das während des Verfahrensablaufs gebunden wurde. Für den erneuten Einsatz wird der Anionenaustauscher (T 1) wieder in die Hypophosphit-Beladung überführt.

[0018] Durch eine durch den Pfeil (P 1) angedeutete Verbindung der Kathodenkammer (3) mit der zweiten Kammer (6), die durch die Anionenaustauscher-Membran (AM 2) und die Kationenaustauscher-Membran (KM 1) begrenzt ist, kann ein Regenerierkreislauf eingerichtet werden. Während des Verfahrensablaufs kann zur Nachdosierung von verbrauchtem Nickel beispielsweise Nickelhypophosphit verwendet werden, das gemäß dem Pfeil (P 2) in die erste Kammer (5), also in die Prozeßlösung (PL) gegeben wird.

[0019] Zur Erhöhung des Durchsatzes kann die Elektrodialysezelle (EZ) durch weitere Kammern ergänzt werden. Das können gemäß Fig. 2 drei zusätzliche Kammern (7, 8 und 9) sein, die zwischen der ersten Kammer (5) und der Kathodenkammer (3) angeordnet werden. Die Kammer (7) hat darin eine kombinierte Funktion von Anodenkammer (1) einerseits (Abgabe von Protonen) und Kathodenraum (3) andererseits (Transport von Hypophosphit in die Prozeßlösung (PL)). Sie ist von der ersten Kammer (5) durch eine Anionenaustauscher-Membran (AM 3) und von der Kammer (8) durch eine Kationenaustauscher-Membran (KM 2) getrennt, die funktionsmäßig der zweiten Kammer (6) entspricht. Analog dazu entspricht die Kammer (9) funktionsmäßig der ersten Kammer (5). Sie ist von der Kammer (8) durch eine Anionenaustauscher-Membran (AM 4) und von der Kathodenkammer (3) durch die Anionenaustauscher-Membran (AM 1) getrennt.

[0020] Die Prozeßlösung (PL) wird sowohl der ersten Kammer (5) als auch der Kammer (9) aufgegeben. Das Säuregemisch der zweiten Kammer (6) und der Kammer (8) gelangt in den Anionenaustauscher (T 1). Die Hypophosphit enthaltende Lösung wird in die Kathodenkammer (3) und in die Kammer (7) geleitet. Auch hier kann ein Regenerierkreislauf eingerichtet sein (Pfeil P 1) und es kann Nickel nachdosiert werden (Pfeile P 2).

[0021] Bei der Ausführungsform der Anordnung nach Fig. 3 ist zusätzlich ein schwachsaurer Kationenaustauscher (T 2) vorhanden, der mit seinem Einlaß mit dem Auslaß des Anionenaustauschers (T 1) verbunden ist und mit seinem Auslaß in die erste Kammer (5) mündet. Bei dieser Ausführungsform ist berücksichtigt, daß die zu regenerierende Prozeßlösung (PL) an Nickel verarmt ist, da durch den chemisch-reduktiven Abscheideprozeß Nickelionen verbraucht werden. Durch den Einsatz des Kationenaustauschers (T 2), der mit Nickel beladen ist, ist es möglich, Nickel ohne störende Fremdionen in die Prozeßlösung (PL) einzuführen. Das Verfahren läuft bei der Anordnung nach Fig. 3 grundsätzlich genauso ab, wie bei der nach Fig. 1. Es wird hier nur ein Teilstrom der aus dem Anionenaustauscher (T 1) austretenden Lösung abgezweigt und über den Kationenaustauscher (T 2) geführt. Dieser Teilstrom der Lösung entlädt den in der Nickelform befindlichen Kationenaustauscher (T 2). Er wird direkt in die Prozeßlösung (PL) geleitet. Auf diese Weise werden der Prozeßlösung (PL) Nickelionen ohne störendes Anion wieder zugeführt. Nachdem das Nickel vollständig vom Kationenaustauscher (T 2) entfernt wurde, wird derselbe mit Natronlauge in die Natrium-Form überführt und wieder mit Nickelionen beladen.

[0022] Bei den Ausführungsformen der Anordnung nach den Fig. 4 bis 6 ist berücksichtigt, daß der Anodenprozeß genutzt werden kann, um die bei der stromlosen Nickelabscheidung verbrauchten Nickelionen nachzudosieren.

[0023] Die Elektrodialysezelle (EZ) nach Fig. 4 ist gegenüber der nach Fig. 1 um eine weitere Kammer (10) ergänzt, die zwischen der Anodenkammer (1) und der zweiten Kammer (6) angeordnet ist. Sie ist von der zweiten Kammer (6) durch eine Kationenaustauscher-Membran (KM 3) getrennt, die nur für einwertige Kationen durchlässig ist. Als Anode (2) wird hier eine Nickelanode verwendet. Während des Verfahrens wird Nickel anodisch aufgelöst. Es gelangt elektrodialytisch in die Prozeßlösung (PL). Die Prozeßlösung (PL) wird in die von der Kationenaustauscher-Membran (KM 1) und der Kationenaustauscher-Membran (KM 3) begrenzten Kammer (1) eingeleitet. Die nur für einwertige Kationen durchlässige Kationenaustauscher-Membran (KM 3) ist erforderlich, damit keine Nickelionen in den Regenerierkreislauf zur Entfernung des Orthophophits transportiert werden.

[0024] Aus der Anodenkammer (1) wandern Nickelionen in die Prozeßlösung (PL). Sie gleichen das Defizit an Nickelionen aus, das durch die stromlose Nickelabscheidung entstanden ist. Gleichzeitig wandert eine äquivalente Menge an Protonen durch die Kationenaustauscher-Membran (KM 3) aus der Kammer (10) in die zweite Kammer 86). Dadurch wird die bei der chemisch-reduktiven Nickelabscheidung gebildete Säuremenge wieder aus der Prozeßlösung (PL) entfernt. Die mit Nickelionen angereicherte Prozeßlösung (PL) wird anschließend entsprechend dem Pfeil (P3) in die erste Kammer (5) geleitet, die von der Anionenaustauscher-Membran (AM 2) und der Anionenaustauscher-Membran (AM 1) begrenzt ist. Angetrieben durch das elektrische Feld, wandern die Anionen (Hypophosphit und Orthophosphit) aus der ersten Kammer (5) in die zweite Kammer (6) und bilden dort zusammen mit den Protonen, die zuvor aus der Anodenkammer (1) und der weiteren Kammer (10) elektrodialytisch in die zweite Kammer (6) transportiert wurden, die entsprechenden freien Säuren. Der weitere Verfahrensablauf entspricht dem für Fig. 1 beschriebenen Vefahrensablauf. Die Nickelanode muß hier nach Verbrauch des Nickels ausgewechselt werden.

[0025] Gemäß Fig. 5 kann die anodische Nickelauflösung auch extern erfolgen. Die Nickelionen werden dann der Anodenkammer (1) aufgegeben. Das ist durch den Pfeil (P4) angedeutet. Es kann dann weiter eine beispielsweise aus Stahl oder aus platiniertem Titan-Streckmetall bestehende Anode (2) verwendet werden, so daß kein Anodenwechsel erforderlich ist. Der Aufbau der Elektrodialysezelle (EZ) nach Fig. 5 ist sonst identisch mit dem der Elektrodialysezelle (EZ) nach Fig. 4. Das gilt auch für den Verfahrensablauf.

[0026] Zur verbesserten Regelung der Nickelionenkonzentration und des pH-Wertes der Prozeßlösung (PL) kann dieselbe gemäß Fig. 6 der Kammer (10) auch nur in einem Teilstrom (TL) aufgegeben werden. Der aus der Kammer (10) austretende, mit Nickel angereicherte Teilstrom der Prozeßlösung (PL) wird mit der aus der ersten Kammer (5) austretenden, der weiteren Verwendung zuzuführenden Prozeßlösung (PL) vereinigt.

Ansprüche

1. Verfahren zum Regenerieren einer Prozeßlösung, die bei der chemischreduktiven Abscheidung von Metallschichten verwendet wird und Hypophosphit sowie Orthophosphit enthält, bei welchem die Prozeßlösung einer mindestens vier Kammern aufweisenden Elektrodialysezelle aufgegeben wird, die eine verdünnte Säure enthaltende Anodenkammer mit einer darin befindlichen Anode, eine Kathodenkammer mit einer darin befindlichen Kathode sowie zwei weitere, durch eine Anionenaustauscher-Membran voneinander getrennte und zwischen diesen beiden Kammern angeordnete Kammern aufweist, von denen eine erste Kammer durch eine Anionenaustauscher-Membran von der Kathodenkammer getrennt ist, während eine zweite Kammer durch eine Kationenaustauschermembran von der Anodenkammer getrennt ist, bei welchem die Prozeßlösung bei Durchführung des Verfahrens der ersten Kammer aufgegeben wird, wodurch die in ihr enthaltenen Hypophosphit-Ionen und Orthophosphit-Ionen elektrodialytisch in die zweite Kammer und gleichzeitig Hypophosphit-Ionen aus der Kathodenkammer in die Prozeßlösung transportiert werden, und bei welchem regenerierte Prozeßlösung entnommen und einer weiteren Verwendung zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das in der zweiten Kammer (6) durch Zutritt von Protonen aus der Anodenkammer (1) gebildete Säuregemisch einem in der Hypophosphit-Beladung befindlichen, schwachbasischen Anionenaustauscher (T 1) zugeführt wird, der mit seinem Auslaß an die Kathodenkammer (3) angeschlossen ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der aus dem schwachbasischen Anionenaustauscher (T 1) austretenden Lösung über einen schwachsauren Kationenaustauscher (T 2) in die erste Kammer (5) der Elektrodialysezelle (EZ) geleitet wird, der mit Ionen des Beschichtungsmetalls vorbeladen ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine Verbindung (P 1) der Kathodenkammer (3) mit der zweiten Kammer (6) ein Regenerierkreislauf gebildet wird.

4. Verfahren nach einem der Anspprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Beschichtungsmetall zu dessen Nachdosierung der ersten Kammer (5) aufgegeben wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Anodenkammer (1) und zweiter Kammer (6) eine weitere, von der zweiten Kammer (6) durch eine Kationenaustauscher-Membran (KM 3) getrennte Kammer (10) angeordnet wird, in welche aus der Anodenkammer (1) austretende Ionen des Beschichtungsmetalls eingeleitet werden.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßlösung (PL) der weiteren Kammer (10) aufgegeben und von dort der ersten Kammer (5) zugeleitet wird.

7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teilstrom (TL) der Prozeßlösung (PL) durch die weitere Kammer (10) geleitet wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine unlösliche Anode (2) eingesetzt wird, die vorzugsweise aus Stahl oder platiniertem Titan-Streckmetall besteht.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Anodenkammer (2) Ionen des Beschichtungsmetalls zugeführt werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine lösliche, aus dem Beschichtungsmetall bestehende Anode (2) verwendet wird.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Elektrodialysezelle (EZ) mit einer Mehrfachanordnung der Kammern eingesetzt wird.

Zeichnung