(19)
(11) EP 1 007 278 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.06.2000  Patentblatt  2000/24

(21) Anmeldenummer: 98949938.9

(22) Anmeldetag:  24.08.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B24B 37/04, B24B 53/00, B24B 53/12, B24B 45/00, B24D 9/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/486
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9911/431 (11.03.1999 Gazette  1999/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE

(30) Priorität: 29.08.1997 DE 19737873

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81541 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KÜHN, Olaf
    D-01219 Dresden (DE)
  • RICHTER, André
    D-01844 Neustadt (DE)
  • ZEHNER, Sigurd
    D-01129 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. 
Patentanwalt,Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEARBEITEN VON POLIERPADS, INSBESONDERE POLIERTÜCHERN