(19)
(11) EP 1 008 179 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.06.2000  Patentblatt  2000/24

(21) Anmeldenummer: 98941232.5

(22) Anmeldetag:  26.06.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/84, H01L 27/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9801/759
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9904/428 (28.01.1999 Gazette  1999/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR NL

(30) Priorität: 19.07.1997 DE 19731090

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GLÜCK, Joachim
    D-71272 Renningen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MATRIX AUS DÜNNSCHICHTTRANSISTOREN MIT SPEICHERKAPAZITÄTEN