(19)

(11)

EP 1 008 184 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.06.2000  Patentblatt  2000/24 (21) Anmeldenummer: 99913117.0 (22) Anmeldetag:  17.03.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/06, H01L 29/78 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9900/761 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9967/826 (29.12.1999 Gazette  1999/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT (30) Priorität: 24.06.1998 DE 19828191 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE)