(19)
(11) EP 1 008 191 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.06.2000  Patentblatt  2000/24

(21) Anmeldenummer: 98943711.6

(22) Anmeldetag:  22.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 41/053, H01L 41/083
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9802/061
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9908/330 (18.02.1999 Gazette  1999/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR GB IT

(30) Priorität: 05.08.1997 DE 19733858

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FRANK, Wilhelm
    D-96049 Bamberg (DE)
  • LEWENTZ, Günter
    D-93055 Regensburg (DE)
  • VOIGT, Andreas
    D-93055 Regensburg (DE)

   


(54) VORGESPANNTER PIEZOELEKTRISCHER AKTOR