(19)
(11) EP 1 009 589 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.06.2000  Patentblatt  2000/25

(21) Anmeldenummer: 98922664.2

(22) Anmeldetag:  08.04.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B24B 37/04, B24B 57/02
// H01L21/304
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9802/035
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9847/661 (29.10.1998 Gazette  1998/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB IE IT LI NL

(30) Priorität: 17.04.1997 DE 19715974

(71) Anmelder: MERCK PATENT GmbH
64293 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • FINKENZELLER, Ulrich
    D-68723 Plankstadt (DE)
  • DUSEMUND, Claus
    D-66583 Spiesen-Elversberg (DE)
  • SCHWORTSCHIK, Thomas
    D-68535 Edingen (DE)

   


(54) VERSORGUNGSSYSTEM FÜR CHEMIKALIEN UND DESSEN VERWENDUNG