(19)
(11) EP 1 010 204 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.06.2000  Patentblatt  2000/25

(21) Anmeldenummer: 98928113.4

(22) Anmeldetag:  01.04.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/24, H01L 29/78, H01L 29/739
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9800/931
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9909/598 (25.02.1999 Gazette  1999/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FI FR GB IE IT LI NL PT SE

(30) Priorität: 20.08.1997 DE 19736211

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHÖRNER, Reinhold
    D-91091 Gro enseebach (DE)
  • STEPHANI, Dietrich
    D-91088 Bubenreuth (DE)
  • PETERS, Dethard
    D-91315 Höchstadt (DE)
  • FRIEDRICHS, Peter
    D-90419 Nürnberg (DE)

   


(54) HALBLEITERSTRUKTUR MIT EINEM ALPHA-SILIZIUMCARBIDBEREICH SOWIE VERWENDUNG DIESER HALBLEITERSTRUKTUR