(19)
(11) EP 1 012 874 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.06.2000  Patentblatt  2000/26

(21) Anmeldenummer: 97915438.2

(22) Anmeldetag:  26.03.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9701/528
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9740/522 (30.10.1997 Gazette  1997/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT NL

(30) Priorität: 22.04.1996 DE 19615970
31.01.1997 DE 19703646

(71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH
72124 Pliezhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHÖNLEBER, Dietmar
    D-72587 Römerstein (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER