(19)
(11) EP 1 015 654 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.07.2000  Patentblatt  2000/27

(21) Anmeldenummer: 98951423.7

(22) Anmeldetag:  16.09.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/08, C23C 14/34, C23C 14/22
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9805/909
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9914/393 (25.03.1999 Gazette  1999/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB SE

(30) Priorität: 16.09.1997 DE 19740729
07.07.1998 DE 19830206

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LÖHKEN, Thomas
    D-38100 Braunschweig (DE)
  • LÜTHJE, Holger
    D-25469 Halstenbek (DE)
  • STEINBERG, Cornelia
    D-38667 Bad Harzburg (DE)
  • JUNG, Thomas
    D-38173 Hötzum (DE)

(74) Vertreter: Einsel, Martin, Dipl.-Phys. 
Patentanwalt,Jasperallee 1A
38102 Braunschweig
38102 Braunschweig (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN MIT ALUMINIUMOXID (Al 2?O 3?) UND DAMIT BESCHICHTETES WERKSTÜCK